Nichtzulassungsbeschwerde – grundsätzliche Bedeutung einer Rechtssache – überlanges Vergütungsfestsetzungsverfahren – Entschädigungsanspruch für den Rechtsanwalt – geringfügige Verzögerung – geringe Bedeutung – Wiedergutmachung auf andere Weise – keine Geldentschädigung – Tatsachenwürdigung im Einzelfall – sozialgerichtliches Verfahren – Nichtzulassung der Revision als Verfahrensfehler – Entscheidungserheblichkeit – Verletzung des rechtlichen Gehörs – Darlegungsanforderungen